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梅年松; 黄庆安;
北京大学;
中国电子科技集团公司;
机译:基于人字形热致动器的原位测量MEMS薄膜断裂强度的测试结构设计
机译:新型热致动器[MEMS]确定的多晶硅断裂强度和疲劳
机译:TiO2薄膜包覆金刚石颗粒对玻璃化结合剂润湿性和玻璃化结合复合材料横向断裂强度的影响
机译:用于微机电系统(MEMS)装置的脆性薄膜的断裂强度。
机译:薄膜MEMS电阻器使用寿命更长适用于热喷墨技术
机译:基于人脚轮形热致动器的测试结构设计,用于原位测量MEMS薄膜断裂强度的测量
机译:小面积原位mEms测试结构,通过211静电探测精确测量断裂强度
机译:MEMS热致动器,MEMS热致动器系统以及MEMS热致动器的制造方法
机译:薄膜过滤器,薄膜过滤器基板,薄膜过滤器制造方法,薄膜滤波基板制造方法,以及MEMS麦克风和MEMS麦克风制造方法。
机译:薄膜过滤器,薄膜滤光基板,制造薄膜过滤器的方法,制造薄膜滤光基板的方法,MEMS麦克风和制造MEMS麦克风的方法
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