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影响光瞳滤波光刻图形质量的因素

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文章在简述光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了影响滤波成像光刻图形质量的因素,指出影响图形质量因素主要有滤波器的制作偏差、滤波器的放置和光刻工艺等.实验表明只有注意控制好这些因素,才能很好挖掘该技术提高光刻分辨力增大焦深波前工程技术的潜能.

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来源
《第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会》|2003年|308-310|共3页
会议地点北京
作者
陈旭南; 石建平; 秦涛;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
光瞳滤波; 光刻图形; 质量; 光刻分辨力; 光刻工艺;

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