法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-12-01
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20120117
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-08-26
授权
授权
2015-08-26
授权
授权
2013-08-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120117
实质审查的生效
2013-08-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120117
实质审查的生效
2013-07-17
公开
公开
2013-07-17
公开
公开
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机译: 用于光刻投影曝光系统的照明光学单元,如果在将小平面定位在光瞳区域和边缘区域之外的过程中强度等于零,则将光瞳小平面施加实际的照明强度
机译: 后视镜组件用于微光刻投影曝光系统的光学系统的光瞳小面镜,具有用于单个镜的载体,以及设计成使镜可消除振动振荡的振动激励单元
机译: 用于微光刻投影曝光系统中的照明装置,用于照明掩模,例如掩模版,以制造例如LCD,具有布置在反射镜组件和照明装置的光瞳平面之间的光学元件