集成电路中的扩散阻挡层材料性能结合分析研究

摘要

主要介绍了作为扩散阻挡层的几种材料:TiN,Ta,TaN,WNx的性质和制备以及作为扩散阻挡层材料各自的优点和及缺点.最后,简单介绍了一种三元化合物扩散阻挡层材料.