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飞秒激光微纳米加工技术

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综述了飞秒激光的特点,利用飞秒激光进行微纳加工的原理及其特色,飞秒激光加工的类型,及其在微电子学、微光学和微机械学中的应用,并介绍了天津大学超快激光实验室在飞秒激光微纳米加工研究中取得的一些进展.

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来源
《2003年中国机械工程学会年会》|2003年|176-182|共7页
会议地点深圳
作者
王清月; 张国雄; 倪晓昌;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;激光技术、微波激射技术;
关键词
飞秒激光; 微纳加工; 多光子吸收; 破坏阈值;
入库时间 2022-08-17 11:07:46

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