p-GaN的欧姆接触及其评价方法

摘要

本研究通过采用HF溶液处理p型GaN表面.接着运用X射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)等表面分析手段对处理前后的p-GaN样品表面的化学组分进行了分析.

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