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微机械三维加速度传感器结构及原理分析

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本文综合国内外研究情况,介绍了几种微机械三维加速度传感器的结构,包括单质量块-弹性梁结构、双质量块六梁结构、四质量块结构、梳齿式结构,并对每种结构传感器的工作原理进行了分析.

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来源
《中国兵工学会第十二届测试技术学术年会》|2004年|5-11|共7页
会议地点北海
作者
余尚江; 李科杰;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.12;
关键词
三维加速度; 传感器; 微机械; 双质量块;
入库时间 2022-08-17 11:03:24

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