ULSI配套用超净高纯试剂的研究

摘要

超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点，它基于微电子技术的发展而产生，随着微电子技术的发展而同步或超前发展，同时它又制约着微电子技术的发展。因此，超净高纯试剂的研究开发及应用必须与微电子技术的发展及应用紧密地结合才具有现实意义。本文分析了国内外微电子产业现状及发展趋势，并就ULSI配套用超净高纯试剂存在的问题进行探讨。