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超净高纯试剂的现状与制备

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本文根据我国微电子技术发展对超净高纯试剂的要求,阐述了国内外超净高纯试剂的现状、应用及制备技术的发展方向.

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来源
《2006全国电子化学品发展研讨会》|2006年|91-98|共8页
会议地点江苏无锡
作者
穆启道;
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作者单位

中国精细化工协会;

中国电子材料行业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ421.23;
关键词
微电子技术; 超净高纯试剂; 制备技术;

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