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PLD法制备PZT-YBCO结构的铁电薄膜的研究

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本文利用脉冲准分子激光在LaAlO3单晶基片上淀积了YBCO和Zr/Ti为94/6的PZT铁电薄膜,并通过高频溅射将Pt蒸镀在PZT薄膜上作为上电极;用X射线衍射表征了该多层膜的晶相结构,测量了PZT的铁电性能和介电特性,讨论了PZT/YBCO薄膜的制备工艺,以及工艺条件对晶相结构和薄膜性能的影响.

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来源
《第八届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议》|2004年||共5页
会议地点长春
作者
吴平; 彭润玲; 符欣;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;超导体、超导体材料;
关键词
激光脉冲淀积; 铁电薄膜; X射线衍射;
入库时间 2022-08-17 11:03:03

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