金屬薄膜之退火非晶質化現象

摘要

本文系探討一種具高玻璃形成能力之鋯基(Zr-Cu-Al-Ni)的非晶合金薄膜,以减鍍沉積成達10μm以上厚度之薄膜,再經由退火過程而誘發廣泛遍布整個薄膜的部份或全部非晶相.此種可控制之整佃薄膜的內泛非晶相反應能明顯影響薄膜性質(如硬度與電阻值等),方便建立組成結構和薄膜性質之間的關系,退而設計出具有特定性質的薄膜,文章將進一步探討固態非晶化的機制.