非晶锗薄膜退火晶化的拉曼散射研究

摘要

利用拉曼散射研究非晶锗薄膜进行不同温度、不同时间退火热处理后晶化的实验,结果表明:退火温度直至440℃,退火时间长达90分钟,薄膜样品仍为非晶态;退火温度高于480℃,退火时间只30分钟,薄膜样品巳转变为晶态;而退火温度在450℃—470℃,退火时间30分钟,薄膜样品中晶态和非晶态并存。通过比较、分析各种情况,得出450℃是非晶锗薄膜的晶化温度,与文献上报导用其他方法测量的结果相一致。