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薄膜测试的微桥技术

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总结了测试薄膜力学性能的微桥技术,分析了基底变形对测量物理量的影响.采用线性弹簧模型表征基底变形,并通过量纲分析和有限元计算给出弹簧系数的表达式,建立了微桥测试的理论基础,即薄膜微桥的大变形挠度-载荷公式.利用微桥技术成功地测量了Si<,3>N<,4>薄膜和SiO<,2>薄膜的弹性模量和残余应力.

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来源
《祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会》|2004年|239-244|共6页
会议地点北京
作者
张统一; 李剑荣;
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作者单位

中国力学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜中的力学效应;
关键词
薄膜; 微桥; 力学性能; 基底;
入库时间 2022-08-17 10:58:58

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