数字化白光扫描干涉仪及其应用

摘要

数字化的白光扫描干涉仪是当前光学测量中新型高精度工具。本文讨论了本实验室研制的微形貌测量白光扫描干涉仪系统和光纤偏振耦合点监测白光扫描干涉仪原理及设计特点。前者采用Mirau相移干涉法，应用于纳米精度微形貌测量，后者采用光路补偿白光Michelson干涉形式，用于光纤陀螺绕组中偏振耦合点的位置测量。