首页> 中文会议>第八届真空技术应用学术年会 >磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究

磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺陷;在Pt/Ti/SiO2/Si结构衬底上采用射频磁控溅射沉积锆钛酸铅薄膜(Pb(Zr1-xTix)O3,PZT),经退火后结晶形成具有热释电性质的钙钛矿结构薄膜,热释电系数达到1.1531×10-8Ccm-2k-1.

著录项

来源
《第八届真空技术应用学术年会》|2005年|15-20|共6页
会议地点厦门
作者
郭杰; 王静宇; 李振豪;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
直流磁控溅射; PZT薄膜; 铂/钛复合金属薄膜; X射线衍射; 原子力显微镜; 射频磁控溅射;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 对基于磁控溅射方法沉积的HfO2薄膜的紫外光学特性及薄膜结构的研究（英文） [J] . 孙存志 ,洪荣墩 ,陈夏平 . 化学物理学报 . 2018,第6期
2. 沉积压力对非平衡磁控溅射沉积MoS2-Ti复合薄膜的结构与性能影响研究 [J] . 周晖 ,万志华 ,郑军 . 润滑与密封 . 2009,第005期
3. 磁控溅射PtSi/p-Si纳米薄膜组织结构的研究 [J] . 殷景华 ,蔡伟 ,李美成 . 稀有金属材料与工程 . 2003,第9期
4. 沉积在Pt电极上的铁电PZT薄膜特性 [J] . 黄龙波 ,李佐宜 ,卢德新 . 真空科学与技术 . 1996,第3期
5. Pt/PZT铁电薄膜结晶性能与界面结构研究 [J] . 万静 ,杨成韬 . 电子元件与材料 . 2015,第010期
6. 磁控溅射PtSi/p-Si异质薄膜界面结构 [C] . 殷景华 ,蔡伟 ,王明光 . 第四届中国功能材料及其应用学术会议 . 2001
7. 射频磁控溅射法制备PZT薄膜工艺与结构性能研究 [A] . 杨帆 . 2009

磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅