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磁控溅射PtSi/p-Si异质薄膜界面结构

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摘要

金属硅化物的制备方法和工艺条件对硅化物的形成及分布有显著的影响,从而影响其显微结构.本文采用高分辨电镜观察薄膜的界面结构,研究结果表明,溅射方法制备的PtSi/p-Si异质薄膜分为三种典型结构:单层薄膜、多层薄膜和岛状薄膜,并分析了各自的特征.

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来源
《第四届中国功能材料及其应用学术会议》|2001年|1402-1404|共3页
会议地点厦门
作者
殷景华; 蔡伟; 王明光; 李美成; 赵连城;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
PtSi; 薄膜; 界面结构; 磁控溅射;

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