浅谈用于微电子制程中化学过滤器

摘要

本文对用于微电子制程中化学过滤器进行了探讨。文章围绕AMC的分类和常见危害、对付AMC方案和对策、选用化学过滤器要关注的因素和指标、化学过滤器市场上的一些陷阱等进行了论述。