ケミカルフィルタ「イオケミックスとピュアケミックミッG」：イオン交換と活性炭形ケミカルフィルタの特徴

摘要

近年、半導体関連産業分野においては、酸、アルカリ、ドーバント、有機物などのガス状汚染物質の制御が重要になってきていることは周知のことである。 これらガス状汚染物質は、様々な方法で制御されるが、一般にケミカルフィルタで除去されることが多い。 これらに対し当社では、外気系については、過マンガン酸カリウムや水酸化かレシウムを坦持させた活性炭やゼオライトをトレイ形の容器に充填した構造のピュアスメルフィルタを提案してきている。 循環系については、様々なニーズに答えるために、粒状イオン交換樹脂ろ材を用いたイオケミックスに加え、炭酸カリウムやリン酸を坦持させた粒状活性炭ろ材を用いたピュアケミックスGを新たに開発するに至った。 以下に循環系の2つのフィルタの特徴について解説する。