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扭臂式静电微驱动器的pull-in现象分析

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本文从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pull-in现象的产生条件并给出公式化结果,讨论了器件的几何结构参数对于pull-in现象的影响,并对具体结构的器件给出了pull-in角度和pull-in电压等方面的分析结果.对于特定的扭臂结构,pull-in角度为悬臂梁最大扭转角度的44.04％,且与扭臂的结构参数无关.

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来源
《全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议》|2005年|424-428|共5页
会议地点广东四会
作者
孙东明; 董玮; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 刘彩霞; 王国东; 陈维友;
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作者单位

中国电子学会;

中国光学学会;

中国通信学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP271.4;
关键词
微驱动器; 静电驱动; 扭臂式; pull-in现象; 微机电系统;
入库时间 2022-08-17 10:50:29

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