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溶胶-凝胶法制备掺铋(Ba0.65Sr0.35)TiO3薄膜的结晶特性研究

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采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)工艺制备了掺Bi(Ba0.65Sr0.35)TiO3(简称BST:Bi)薄膜.XRD研究结果表明,BST系列薄膜具有单一钙钛矿结构;AFMM测试结果表明BST薄膜表面平整致密,无裂纹.表面均方根粗糙度约为3～6.5nm,晶粒大小分布均匀,直径约为50～75nm.随着热处理温度的提高,BST薄膜的晶粒变大,表面粗糙度变大.

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来源
《第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议》|2005年|394-396|共3页
会议地点成都
作者
梁金娥; 方瑜; 肖定全; 朱建国;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的性质;
关键词
BST薄膜; 溶胶凝胶法; 结晶性能; 钙钛矿结构; 热处理温度;
入库时间 2022-08-17 10:47:27

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