HWE生长条件对CdTe/Si薄膜结构特性的影响

摘要

本文研究了热壁外延生长条件对Si(100)衬底上沉积外延的多晶CdTe薄膜的晶粒尺寸和取向的影响.用SEM和XRD技术分析了不同外延时间、不同衬底温度及不同源温下外延膜的表面形貌和结构特征.SEM发现随着外延时间的增加或衬底温度的提高,晶粒尺寸明显增大;XRD显示所有的外延薄膜均为面心立方结构,并高度显示优势取向(111),且随着衬底温度或薄膜厚度的增加,(111)蜂的衍射强度增加.通过对不同外延时间下薄膜厚度的测试发现,薄膜具有加速生长趋势.