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目录
第一章 引 言
1.1 ZnO材料的基本特性
1.2 ZnO的能带结构
1.3 ZnO的缺陷
1.4 ZnO薄膜的用途
1.5 ZnO的掺杂
1.6 本文的研究内容
第二章 ZnO薄膜的制备及表征手段
2.1 ZnO薄膜的制备方法
2.2 薄膜生长机理
2.3 薄膜的制备
2.4 薄膜的结构和性能表征[58-60]
第三章 射频磁控溅射法制备AZO:Si薄膜的结构和性能
3.1 薄膜厚度的影响
3.2 基片温度的影响
3.3 Si掺杂浓度的影响
第四章 结 论
参考文献
攻读学位期间公开发表的论文
致谢