ZnO薄膜p型化的研究进展

摘要

高质量的P型ZnO是实现电泵浦条件下ZnO材料发光和激光的关键,也是实现紫外发光二极管,激光器等光电器件的重要基础.因而实现本征ZnO的n型电导向P型电导的转化,提高P型ZnO的质量,制备ZnO材料p-n结成为近年来的研究热点.本文从ZnO薄膜中的缺陷出发,结合最新的研究进展,分析并综述了制备可重复性、稳定性高的具有良好p型ZnO的困难以及相应的解决途径。