MW-ECR CVD制备立方氮化硼薄膜

摘要

采用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRCVD)法,BF3-H2-N2-Ar为反应气体,制备立方氮化硼薄膜.应用傅立叶红外光谱(FTIR),定性地研究通入的H2和N2流量对制备的立方氮化硼薄膜结构的影响.发现在BF3-H2-N2-Ar气体系统中,H2对立方氮化硼薄膜结构的影响比较明显,而N2的影响没有那么明显.并对MW-ECRCVD制备立方氮化硼薄膜的结构特性进行了初步分析。