基于EFAB的金属微细三维结构电铸技术及机床设计

摘要

随着微机电系统(MEMS)技术的发展以及航空航天领域对高深宽比微器件和微型零件需求的不断增加，制造金属微细三维结构的EFAB(Electrochemical fabrication)技术越来越受到人们的关注，然而，现有EFAB工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。本文提出了一种新的基于EFAB——微细电铸工艺的改进方案，不但有望解决现有EFAB电铸的一些缺陷，而且可以电铸合金及金属基复合材料。在此基础上，研制并开发了新型EFAB电铸机床。改进的FEAB技术在航空制造业中会有很好的应用前景。