顶部出光和底部出光光大功率垂直腔面发射激光器的MOCVD生长

摘要

本文报道了采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法进行的垂直腔面发射激光器(VCSEL)的生长实验,分别为顶部出光结构和底部出光结构,并对二者的外延测试结果进行了比较。