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硅微机械谐振式压力传感器组合敏感原理

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为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理.利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带通滤波器的中心频率以改善噪声抑制;可及时判断闭环系统失效;可在闭环系统失效状态下继续部分维持传感器的测量功能.辅助传感器的制造工艺与主传感器兼容,附加成本低.

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来源
《第十届全国敏感元件与传感器学术会议》|2007年|20-2124|共3页
会议地点北京
作者
邢维巍; 樊尚春;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
谐振式传感器; 微机电系统; 闭环系统; 组合敏感原理;

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