深槽/浅槽隔离技术在SiGe集成电路中的实现

摘要

详述了深槽/浅槽隔离技术在双极SiGe集成电路中的实现,取了良好的隔离效果,完全符合实际应用.采用该技术,制作了符合实用要求的低噪声放大器。