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中国机械工程学会;
中国腐蚀与防护学会;
湖北省机械工程学会;
感应耦合等离子体; 磁控溅射; 纳米硬度; 力学性能; 薄膜;
机译:溅射压力对磁控溅射沉积ZrN薄膜组织和力学性能的影响
机译:磁控溅射沉积在Si上的ZrN_xO_y薄膜的结构演变和力学性能
机译:射频磁控溅射沉积离子辅助ZrN薄膜的物理性能研究
机译:反应性DC磁控溅射沉积的ZrN薄膜的表征
机译:沉积参数与射频磁控溅射沉积氧化锆薄膜性能之间的关系。
机译:射频磁控溅射沉积BiFeO3薄膜的结构和纳米力学性能
机译:反应磁控溅射沉积多功能ZrN薄膜生长过程中的能量和粒子通量
机译:用于pb(Zr,Ti)O(sub 3)薄膜电容器的La(sub 0.5)CoO(sub 3)// pt复合电极的射频磁控溅射沉积
机译:电感耦合等离子体化学气相沉积ICP-CVD设备,使用ICP-CVD设备制造没有任何掺杂工艺的P型ZnO薄膜的系统和方法以及光功率化合物半导体
机译:电感耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)设备,系统和方法,用于通过使用ICP-CVD设备和光功率复合半导体在没有任何掺杂过程的情况下制造p型Zno薄膜
机译:磁控溅射枪和磁控溅射薄膜沉积装置
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