非掺杂LEC-InAs单晶的残留杂质与电学性能研究

摘要

非有意掺杂InAs单晶均呈N型电导,自由电子浓度可达3×1016cm-3以上。有关非掺InAs单晶中的施主杂质、缺陷及其产生规律的尚不清楚。本文利用辉光放电质谱(GDMS)定量分析了LEC法生长的InAs单晶的残留杂质,结合Hall测量、Raman散射和红外吸收等研究了施主杂质的来源和缺陷对材料性质的影响。