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KMC模拟薄膜生长反常效应的研究

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以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成核,这一反常效应是由于表面活化剂原子比沉积原子更容易被激活扩散造成的.活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,交换比并非恒等于1,而是与温度、入射率、成膜厚度等多种因素有关.

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来源
《第七届中国国际纳米科技（武汉）研讨会》|2008年|29-3134|共4页
会议地点武汉
作者
郑小平; 张佩峰; 贺德衍; 郝远;
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作者单位

中国微纳米技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;放射化学分析法、活化分析;
关键词
KMC模拟; 薄膜生长; 反常效应; 扩散理论; 表面活化剂;

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