基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作

摘要

硅微传声器是声学微机电系统(Acoustic MEMS)的重要组成部分，主要分为电容式微传声器和压电式微传声器，目前，电容式微传声器已经走向产业化。与电容式相比，压电式微传声器具有很多优点，它不需电容微传声器的偏置电压，从而不需DC-DC集成电路，相对电容式微传声器，压电式微传声器的微加工工艺流程简单，因此压电式将比电容式具有更好的实用价值，但是其关键指标灵敏度还较低。本文设计并制作了一种基于压电PZT薄膜压电常数工作的压电微传声器，即利于PZT薄膜在纵向极化作用下纵向振动模式工作，以下简称为d}模式。受到湿法体硅微加工工艺的限制，大多数压电微传声器的振动膜采用方形结构，为了提高压电传声器的灵敏度和成品率，本文设计了具有环形叉指电极和圆形振动模的微结构。