环境友好半导体β-FeSi2薄膜的制备方法研究

摘要

本文对环境半导体β-FeSi2薄膜的制备方法工艺进行了回顾和总结，对β-FeSi2薄膜的热处理工艺进行了综述。分析了制备和热处理过程中薄膜沉积方法和沉积条件、沉积速率、薄膜厚度、热处理方法和热处理条件等因素对β-FeSi2相的形成的影响，结果表明影响β-FeSi2相形成的决定性因素是热处理温度和时间，此外薄膜沉积方法和沉积厚度对β-FeSi2相也有重要的影响。