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目录
1 绪论
1.1 薄膜太阳电池的基本介绍
1.2 β-FeSi2薄膜的基本介绍
1.3 β-FeSi2薄膜的制备方法
1.4 本论文的研究内容
2 研究方法
2.1 薄膜制备:远源等离子体溅射系统
2.2 靶材的选择
2.3 衬底的清洗
2.4 等离子体溅射生长β-FeSi2薄膜
2.5 电极的制备
2.6 试样性能测试和表征方法
3 β-FeSi2薄膜的制备及结构形貌分析
3.1 β-FeSi2薄膜的制备及物相表征
3.2 β-FeSi2薄膜沉积速率的测定
3.3 β-FeSi2薄膜的微观形貌分析
3.4 β-FeSi2薄膜的力学性能分析
3.5 本章小结
4 β-FeSi2薄膜的光电性能的研究
4.1 β-FeSi2薄膜样品制备
4.2 β-FeSi2薄膜电学性能的表征
4.3 β-FeSi2薄膜光学性能的表征
4.4 本章小结
5 结论与展望
5.1 结论
5.2 展望
参考文献
个人简历、在学期间发表的学术论文及研究成果
致谢
郑州大学;