硅压阻式压力传感器可靠性强化试验及失效分析

摘要

通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态应力寿命试验,探讨了硅压阻式压力传感器的可靠性强化试验方法。研究了它在低温、电压共同作用下的失效机理。针对硅压阻式压力传感器零位温度漂移提出失效判据。对失效样品进行了解剖分析,提出了相应的改进措施。