铀表面脉冲辉光等离子氮化研究

摘要

采用脉冲辉光等离子氮化技术对贫铀进行了表面氮化处理,采用俄歇电子能谱(AES)对氮化层进行元素深度剖析,采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对氮化层组织结构进行了分析表征.结果表明:脉冲偏压-900V、工作氮分压50～100Pa、氮化时间2.5～4h 下在贫铀表面能获得约20μm 厚的氮化层,氮化层为U2N3 的单一立方结构且均匀致密,脉冲辉光等离子氮化技术能在贫铀表面实现氮化.