公开/公告号CN106191758A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-12-07
原文格式PDF
申请/专利权人 金华市精博热处理有限公司;
申请/专利号CN201510247304.2
发明设计人 潘荣海;
申请日2015-05-10
分类号C23C8/36;
代理机构
代理人
地址 321004 浙江省金华市仙源路855号
入库时间 2023-06-19 01:05:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C8/36 申请公布日:20161207 申请日:20150510
发明专利申请公布后的视为撤回
2016-12-07
公开
公开
机译: 双等离子体微波和表面处理工艺。
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机译: 一种制备硅-硼-氧氮化物的方法,所得的氧氮化物和作为中间体的聚硼硅氧烷