一种新型超势垒整流器SBR的设计与制造

摘要

文中分析了一种新型的超势垒整流器SBR(SBR：Super、BarrierRectifier)。理论分析SBR结构势垒，建立了该器件正向压降的解析式，同时给出了该器件的工艺制造流程，并对其进行了模拟仿真及优化设计。最后，根据模拟得到的参数进行了100V的SBR器件制造，结果表明，所设计的SBR器件击穿电压为116V，在3A时的正向压降为0.7V，反向恢复时间达到了18ns，满足设计指标。