深径比对Cz结构内旋转驱动流动的影响

摘要

为了了解深径比对Czochralski结构内旋转驱动流动的影响,利用有限容积法进行了三维非稳态数值模拟.结果表明:当旋转速度较低时,流动为稳态轴对称流动,随着液池深径比的增加,流动逐渐加强;当旋转速度超过某一临界值时,流动转变为三维非稳态振荡流动,随着液池深径比的增加,速度波振荡幅度随之增大,速度波波数以及周向传播方向都随之改变;浅液池内坩埚旋转作用占主导地位,速度波传播方向与坩埚旋转方向相同,而深液池内晶体旋转大于坩埚旋转对流动的影响,速度波传播方向和晶体旋转方向相同.