Cz结构深液池内旋转驱动流动特征及其转变

摘要

为了了解Czochralski结构深液池内旋转驱动流动的基本特征，利用有限差分法进行了非稳态三维数值模拟，坩埚外半径为50mm，晶体半径为15mm，液池深度为50mm。结果表明，当旋转速度较低时，流动为稳态轴对称流动，随着转速的提高，流动会转化为三维非稳态振荡流动；晶体与坩埚同向旋转时，流动转化的临界转速较高，反向旋转时，临界转速较低；晶体单独旋转时，速度波周向速度远小于晶体旋转速度，坩埚单独旋转时，速度波周向速度与坩埚旋转速度保持一致；坩埚转速越快，速度波动幅度和波数越小。