扫描探针声显微术和压电响应力显微术

摘要

随着当代科学技术的高速发展，迫切需要开展微米-纳米的材料和结构的无损评估。在扫描探针声显微镜基础上发展形成的扫描探针声显微镜(SPAM)和压电响应力显微镜(PFM)，可以实现材料在纳米尺度上的力学和压电特性的检测和成像，因此是十分有前途的微米一纳米材料特性的无损评估技术。