基于直线电机精密运动平台的设计和实验研究

摘要

提出基于直线超声电机的精密运动平台。该运动平台由U型直线超声电机、交叉导轨工作台及平台控制系统组成。首先利用有限元分析了直线超声电机的振动特性对运动平台定位精度的影响。然后,提出基于LabVIEW及DSP的平台定位控制系统。最后从试验角度对平台的分辨率进行了测定。经试验测定:此精密运动平台的定位分辨率达100nm。