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Photosensitive resin composition, method for forming resist pattern, method for producing plating molding, and semiconductor device

机译:光敏树脂组合物,形成抗蚀剂图案的方法,生产电镀成型的方法和半导体器件

摘要

Excellent resolutionA photosensitive resin composition capable of forming a resist pattern capable of corresponding to copper plating and nickel platingMethod for forming resist pattern using photosensitive resin compositionManufacturing method of plating molding using resist patternFor the purpose of providing a semiconductor device having a plating structureThe composition isThe structural unit (A1) shown in the following formula (A1)The structural unit (A2) shown in the following expression (A2)A polymer (a) and a photoacid generator (b) having a structural unit (A3) shown in the following formula (A3) are included.In formula (A3), R33 indicates a hydroxyl aryl group.
机译:优异的分层光敏树脂组合物能够形成能够对应于使用光敏树脂组成制造制造方法的铜镀和镀镍图案的抗蚀剂图案,用于使用抗蚀剂图案的电镀成型的电镀成型方法形成抗蚀剂图案。提供具有电镀结构组合物的半导体器件是结构单元 (a1)如下式(a1)所示的结构单元(a2)如下面的表达式(a2)所示的聚合物(a)和具有下式(a3)中所示的结构单元(a3)所示的聚合物(a)( 包括A3)。在式(A3)中,R33表示羟基芳基。

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