法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-28
授权
授权
2014-05-07
著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/004 变更前: 变更后: 申请日:20080508
著录事项变更
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20080508
实质审查的生效
2012-08-01
公开
公开
机译: 光敏性树脂组合物,以及光敏元件,其形成方法的抗蚀剂图案的制造方法以及使用该组合物的印刷线路板。
机译: 化学增强的正性光致抗蚀剂树脂组合物,光敏性干膜,其制造方法,制造带图案的抗蚀剂膜的方法,用模板制造基质的方法,制造板状制品的方法和MERCOMP
机译: 光敏性组合物,光固化性组合物,化学放大型抗蚀剂组合物,抗蚀剂膜,图案形成方法,电子设备的制造方法及电子设备