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MAGNETIC TUNNEL JUNCTION COMPRISING A TUNNEL BARRIER, PINNED LAYER AND TOP ELECTRODE FORMED IN A DAMASCENE-TYPE PROCESS

机译:磁隧道结,包括隧道屏障,固定层和顶部形成在镶嵌式过程中

摘要

A magnetic tunnel junction storage element for a spin transfer torque magnetoresistive random access memory (STT-MRAM) bit cell includes a bottom electrode layer, a pinned layer adjacent to the bottom electrode layer, a dielectric layer encapsulating a portion of the bottom electrode layer and the pinned layer, the dielectric layer including sidewalls that define a hole adjacent to a portion of the pinned layer, a tunneling barrier adjacent to the pinned layer, a free layer adjacent to the tunneling barrier, and a top electrode adjacent to the free layer, wherein a width of the bottom electrode layer and/or the pinned barrier in a first direction is greater than a width of a contact area between the pinned layer and the tunneling barrier in the first direction. Also a method of forming an STT-MRAM bit cell.
机译:用于自旋转移扭矩磁阻随机存取存储器(STT-MRAM)比特单元的磁隧道结存储元件包括底电极层,与底部电极层相邻的钉扎层,封装底部电极层的一部分的介电层 固定层,包括侧壁的介电层,其限定与钉扎层的一部分相邻的孔,与钉扎层相邻的隧道屏障,与隧道屏障相邻的自由层,以及与自由层相邻的顶部电极, 其中底部电极层的宽度和/或第一方向上的钉栅的宽度大于第一方向上钉扎层和隧道屏障之间的接触面积的宽度。 另外,一种形成STT-MRAM钻头小区的方法。

著录项

  • 公开/公告号EP2392029B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-09-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 QUALCOMM INCORPORATED;

    申请/专利号EP20100702808

  • 发明设计人 GU SHIQUN;KANG SEUNG H.;ZHU XIAOCHUN;

    申请日2010-02-02

  • 分类号H01L27/22;H01L43/08;H01L43/12;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 20:55:31

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