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CHARGED-PARTICLE MONITORING APPARATUS, ELECTRON MICROSCOPE AND METHOD FOR DETECTION OF CHARGED-PARTICLES

机译:带电粒子监测装置,电子显微镜和用于检测带电粒子的方法

摘要

Charged-particle monitoring apparatus and method, wherein at a beam modulation member a continuous beam of charged particles and a continuous laser beam are intersected thereby particle pulses are produced which are shorter than an optical cycle, while the beam quality and average current of the particle beam are preserved.
机译:带电粒子监测装置和方法,其中在光束调制构件处,连续的带电粒子和连续激光束的连续光束,从而产生粒子脉冲,其短于光学循环,而颗粒的光束质量和平均电流梁被保留。

著录项

  • 公开/公告号EP3529823B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-05-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号EP20170790674

  • 发明设计人 BAUM PETER;

    申请日2017-10-24

  • 分类号H01J37/26;H01J37/22;H01J37/04;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2024-06-14 21:33:31

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