公开/公告号CN110729164B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-02
原文格式PDF
申请/专利权人 ICT集成电路测试股份有限公司;
申请/专利号CN201910644415.5
发明设计人 本杰明·约翰·库克;迪特尔·温克勒;
申请日2019-07-16
分类号H01J37/28(20060101);H01J37/09(20060101);H01J37/26(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;吴启超
地址 德国巴伐利亚州
入库时间 2022-08-23 11:37:23
机译: 带电粒子束装置,带电粒子束装置的多光束消隐器以及带电粒子束装置的操作方法
机译: 带电粒子束装置,带电粒子束装置的多光束消隐器以及带电粒子束装置的操作方法
机译: - 用于带电粒子束装置的带电粒子束装置多束遮光器和用于操作带电粒子束装置的方法