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Resist composition

机译:抗拒组成

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resist composition that does not cause residues and makes it possible to produce a resist pattern with excellent CD uniformity (CDU).SOLUTION: A resist composition comprises resin (A1) comprising a structural unit represented by formula (I), a structural unit represented by formula (II) and a structural unit having an acid-labile group, and an acid generator [where Rand Rare an alkyl group which may comprise a halogen atom, a hydrogen atom or a halogen atom; Ris a carboxy group, a cyano group or an aliphatic hydrocarbon group; Ais a single bond, *-A-O-, *-A-CO-O-, *-A-CO-O-A-CO-O-or the like; Aand Aare an alkanediyl group; w1 is an integer of 0-8: Lis a single bond or *-L-CO-O-(L-CO-O)-; Land Lare a divalent hydrocarbon group].SELECTED DRAWING: None
机译:要解决的问题:提供不引起残留物的抗蚀剂组合物,使得可以产生具有优异的Cd均匀性(CDU)的抗蚀剂图案。溶液:抗蚀剂组合物包含由式( i),由式(II)表示的结构单元和具有酸性不稳定基团的结构单元,以及抗酸稀有烷基的酸产生剂,其可包含卤原子,氢原子或卤素原子; ris是羧基,氰基或脂肪族碳氢化合物组; AIS单键,* -a-o-,* -a-co-o-,* -a-co-o-a-co-o-o-waid; Aand Aare是链烷基酰基; W1是0-8的整数:LIS单键或* -L-CO-O-(L-CO-O) - ;土地刘莉烃基群。选择绘图:无

著录项

  • 公开/公告号JP6864994B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-04-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 住友化学株式会社;

    申请/专利号JP20160122053

  • 发明设计人 鈴木 雄喜;向井 優一;市川 幸司;

    申请日2016-06-20

  • 分类号G03F7/038;G03F7/039;G03F7/004;C08F20/28;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-24 18:28:30

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