公开/公告号WO2021071625A1
专利类型
公开/公告日2021-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 EUGENUS INC.;
申请/专利号WO2020US50627
发明设计人 JUNG SUNG-HOON;MUKHERJEE NILOY;OKUYAMA YOSHIKAZU;NAGHIBOLASHRAFI NARIMAN;NIE BUNSEN B.;KIM HAE YOUNG;RATHI SOMILKUMAR J.;
申请日2020-09-14
分类号C23C16/455;C23C16/34;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:16:04