公开/公告号US2021104396A1
专利类型
公开/公告日2021-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 EUGENUS INC.;
申请/专利号US201916595945
发明设计人 SUNG-HOON JUNG;NILOY MUKHERJEE;YOSHIKAZU OKUYAMA;NARIMAN NAGHIBOLASHRAFI;BUNSEN B. NIE;HAE YOUNG KIM;SOMILKUMAR J. RATHI;
申请日2019-10-08
分类号H01L21/02;C23C16/34;H01L21/28;C23C16/455;
国家 US
入库时间 2022-08-24 17:23:55